だいたい、次のようです。
1) 費.....何かのためのお金 / tiền để làm gì đó
2) 代.....物のお金 / giá tiền
3) 料.....サービスに対するお金 / tiền đối với dịch vụ đó

①  ～代:giá cước của những vật và những phục vụ     Vd.....本代、コーヒー代、バス代、タクシー代、旅行代、(＊thường nói ...電気代、水道代、電話代)
②  ～賃(ちん) : giá cước đối với sự việc của ai đó       Vd..... 運賃(うんちん・cước vận chuyển)、バス賃、電車賃、家賃(やちん・tiền thuê nhà)、手間(てま)賃、工(こう)賃
③  ～費(ひ) : giá cước trong một thời kì đó　　  Vd.....会(かい)費、食(しょく)費、生活(せいかつ)費、教育(きょういく)費  (＊cũng có  治療(ちりょう)費、修繕(しゅうぜん)費)
④  ～料(りょう) : giá cước do thông báo trước 　   Vd.....入場料(tiền vào cửa)、使用料、授業料、手数(てすう)料、送料、輸送料 
⑤  ～金(きん) :  thường dùng như ～料金.      Vd.....電気料金、水道料金、電話料金、郵便料金、入学金、祝い金、見舞い金、　
⑥　代金.....物を買うとき、お金を払います。　「物」を買うために　払うお金のことを、代金といいます。　　　Vd.....家の代金、車の代金、メガネの代金　
⑦　料金.....私たちは、お金を払って、いろんなサービスを受けます。　「サービス」を受けるために　払うお金を、料金と言います。　　　Vd.....配達料金、電話料金、電気料金、水道料金、タクシー料金