---Độ nhấp nhô tế vi hay còn gọi là độ nhám bề mặt là độ không bằng phẳng của bề mạt chi tiết. được đánh giá bằng chiều cao nhấp nhô (Rz ) và sai lệch prôfin trung bình cộng (Ra) của lớp bề mặt. Độ nhấp nhô tế vi là cơ sở để đánh giá độ nhẵn bề mặt trong phạm vi chiều dài chuẩn rất ngắn l

Rz = [ ( h1 + h3 + h5… +h9) – ( h2 +…. H10)]/5

sai lệch prôfin trung bình cộng (Ra) là trị số của khoảng cách từ các đỉnh trên đường nhấp nhô

Ra = 1/n./y/ 

---- độ sóng là chu kỳ không bằng phẳng của chi tiết máy được quan sát trong phạm vi lớn hơn độ nhám